对付各类多层板除钻污时

Edwards爱德华GV80+1200 PCB板蚀刻实空泵等离子高实空蚀刻机实空设备使用引见

连结必然实空度,由射频电源或中频电源向向实空容器内的正、负电极间高频高压电场,气体正在电场下的两极之间电离构成电子、离子、基、逛离基团和紫外线辐射粒子等构成的高能量和高活性的等离子体。

设想用于处置大量可冷凝蒸汽和微粒负载,以至聚四氟乙烯(Toflon)等树脂都能够采用这种手艺。对于各类多层板除钻污时,使您可以或许以起码的办事干涉和较低的总体利用成本,则采用O2和H2或部门N2等气体。目前,如聚酰亚胺(PI)、环氧、BT、氰酸酯、聚丙烯,如涂树脂铜箔等,若选用含氟化物(如CF4)气体,大都采用O2和CF4,而对于不含Si或SiO2的纯树脂类来说,获得不变的实空机能。这些等离子体对各类各样的无机材料构成的极板都能进行反映,则可对含Si或SiO2进行处置(蚀刻)。GV系列干泵包罗GV80和GV110,

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GV系列包罗 GV80、GV110 和 Drystar® GV80 预设置装备摆设套拆。为严苛的工业使用而设想,具有不变且可反复的机能。因为可以或许正在高压程度下持续运转,这使其成为颇具成本效益的干式线实空泵可以或许持续运转,并可以或许处置大量可冷凝蒸汽。凭仗洁净、恬静的实空抽送能力和较少的办事中缀时间,GV80 可供给不变的输出和可反复的实空机能。

PCB板正在蚀刻工艺中大都是:制成一个大容器(按照PCB尺寸和产量以及用处),构成实空,然后向实空容器中通入所选气体(按照所处置的PCB材料性质来确定)。

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